Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Dependency of SOI & BOX Thickness on trap density of SOI wafers n Pseudo MOS Transistor

SOI wafer Pseudo MOS Transistor에서의 SOI 및 BOX Thickness에 따른 trap density의 종속성

  • 손주환 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 민병호 (한양대학교 전자전기컴퓨터공학부) ;
  • 권종성 (한양대학교 NANO SOI 공정연구소) ;
  • 박재근 (한양대학교 NANO SOI 공정연구소)
  • Published : 2005.05.26
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Abstract

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