Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2005.05a
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- Pages.55-55
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- 2005
A Study of Dry etching of GaAs over AlGaAs and InGaP Semiconductor in F-based Plasmas
F-based 플라즈마를 이용한 GaAs/AlGaAs 와 InGaP 반도체의 건식식각에 관한 연구
- Jang, Su-Uk ;
- Ryu, Hyeon-U ;
- Choe, Chung-Gi ;
-
Mun, Jun-Hui
;
- Lee, Jang-Hui ;
- Yu, Seung-Yeol ;
- Im, Wan-Tae ;
-
Lee, Je-Won
;
-
Jeon, Min-Hyeon
;
- Jo, Gwan-Sik ;
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Song, Han-Jeong
;
- Baek, In-Gyu ;
-
Gwon, Min-Cheol
;
- Mun, Seong-Jin ;
- Sin, Dong-Hyeon
- 장수욱 (인제대학교 나노공학부) ;
- 류현우 (인제대학교 나노공학부) ;
- 최충기 (인제대학교 나노공학부) ;
-
문준희
(인제대학교 나노공학부)
;
- 이장희 (인제대학교 나노공학부) ;
- 유승열 (인제대학교 나노공학부) ;
- 임완태 (나노기술 응용연구소) ;
-
이제원
(인제대학교 나노공학부)
;
-
전민현
(인제대학교 나노공학부, 나노기술 응용연구소)
;
- 조관식 (인제대학교 나노공학부) ;
-
송한정
(인제대학교 나노공학부)
;
- 백인규 ((주) 유니벡) ;
-
권민철
((주) 유니벡)
;
- 문성진 (부산과학영재학교) ;
- 신동현 (부산과학영재학교)
- Published : 2005.05.26
Abstract
Keywords