Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Characteristics of Inductively Coupled Plasma Source with a Multiple U-Type Internal Antenna for Flat Panel Display Applications

평관형 디스플레이 적용을 위한 내장형 Multiple U-Type 안테나를 이용한 유도결합형 플라즈마에 관한 연구

  • 임종혁 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 김경남 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.11.04
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