Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference (한국표면공학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Surface Engineering (한국표면공학회)
권호 표지

Study of the low-angle forward-reflected neutral beam etching system for Si etching

Low-angle forward-reflected 중성빔 식각장치를 이용한 Si 식각에 관한 연구

  • 민경석 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 박병재 (성균관대학교 신소재공학과) ;
  • 염근영 (성균관대학교 신소재공학과)
  • Published : 2005.11.04
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