Manufacture of Optical fiber probe Using $CO_2$ Laser Heating Pulling Method

$CO_2$ Laser Heating Pulling Method를 이용한 광섬유 탐침 제작

본 연구에서는 NSOM(Near-field Scanning Optical Microscope)에서 정밀도의 중요한 요소로 작용하는 100 ~ 200nm Scale의 Optical aperture를 제작하기 위해 Optical Fiber를 이용하여 $CO_2$ Laser Heating Pulling Method에 의하여 제작하고자 한다. Heating Pulling Method 에서 Fiber Tip의 정밀도 및 제작 재현성에 영향을 미치는 중요한 기존의 여러 Fiber Tip 구현방법 중 본 연구에서는 Pulse Width[$PW_{(SEC)}$] 와 Pulling Force 두 요소에 있어서 상호관계를 연구하였으며, 연구 결과 두 변수간의 최적화된 파라미터인 PW 0.07 ~ $0.10_{(SEC)}$ 와 Pulling force 0.2 ~ 0.81b의 구간에서 error율이 최소화되는 범위를 찾을 수 있었고, 그 결과 최적의 상태는 $0.08_{(SEC)}$와 0.21b에서 팁들은 첨예화 되었고 95% 이상의 재현성 및 신뢰성을 얻을 수 있었다.