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한국진공학회
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한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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Pages.120-120
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2004
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
XPS를 이용한 nm급 산화막 박막 두께 측정법 연구
박기태
(한림대학교 물리학과) ;
이종완
(한림대학교 물리학과) ;
김경중
(한국표준과학연구원) ;
문대원
(한국표준과학연구원) ;
홍태은
(하이닉스반도체) ;
이순영
(하이닉스반도체)
Park, Gi-Tae
;
Lee, Jong-Wan
;
Kim, Gyeong-Jung
;
Mun, Dae-Won
;
Hong, Tae-Eun
;
Lee, Sun-Yeong
발행 : 2004.08.19
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