02)567-9486
한국어
한국어
English
한국진공학회
http://www.kvs.or.kr
한국진공학회:학술대회논문집
(Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
/
Pages.119-119
/
2004
한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석
김재훈
(한양대학교 물리학과) ;
김은규
(한양대학교 물리학과) ;
배영호
(위덕대학교 정보통신공학부)
Kim, Jae-Hun
;
Kim, Eun-Gyu
;
Bae, Yeong-Ho
발행 : 2004.08.19
PDF
PDF 다운로드
〈 이전 논문
다음 논문 〉
초록
키워드
자세히 찾기
×
제목, 요약, 키워드
학술지
발행년도
권
호
페이지
저자명
저자소속기관
발행처
DOI
자료유형
학술지
학술회의자료
협회지