양성자 주입된 실리콘 반도체소자내의 깊은준위 결함분석

• 김재훈 (한양대학교 물리학과) ;
• 김은규 (한양대학교 물리학과) ;
• 배영호 (위덕대학교 정보통신공학부)

• Kim, Jae-Hun ;
• Kim, Eun-Gyu ;
• Bae, Yeong-Ho

• 발행 : 2004.08.19

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