한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)
- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
- /
- Pages.121-121
- /
- 2004
XRR을 이용한 ALD HfxAlyOz 박막의 물성 변화 관찰
- 이태권 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 홍태은 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이주희 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 박윤백 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 이순영 (하이닉스 반도체(주) 메모리연구소 분석개발팀) ;
- 홍권 (하이닉스 반도체(주) 선행공정 3팀) ;
- 길덕신 (하이닉스 반도체(주) 선행공정 3팀)
- Lee, Tae-Gwon ;
- Hong, Tae-Eun ;
- Lee, Ju-Hui ;
- Park, Yun-Baek ;
- Lee, Sun-Yeong ;
- Hong, Gwon ;
- Gil, Deok-Sin
- 발행 : 2004.08.19