Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

SOI 특성 분석을 위한 Pseudo-MOSFET 측정용 소자 제작에 있어 식각공정이 미치는 영향과 대책

  • 권경욱 (경북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 이종현 (경북대학교 전기전자컴퓨터공학부) ;
  • 이봉희 (포항1대학 정보통신공학부) ;
  • 배영호 (위덕대학교 정보통신공학부)
  • Published : 2004.08.19
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