Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Ion-cut에 의한 SOI웨이퍼 제조 및 특성조사

  • 우형주 (한국지질자원연구원 이온빔빔응용팀) ;
  • 최한우 (한국지질자원연구원 이온빔빔응용팀) ;
  • 김기동 (한국지질자원연구원 이온빔빔응용팀) ;
  • 홍완 (한국지질자원연구원 이온빔빔응용팀) ;
  • 김준곤 (한국지질자원연구원 이온빔빔응용팀) ;
  • 최우범 (비앤피사이언스) ;
  • 배영호 (위덕대 정보통신공학부)
  • Published : 2004.08.19
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Abstract

Keywords