A Novel ${\mu}$-Patterning Technology of ITO Coated Glass Plate

ITO 박막의 미세 패터닝 방법 연구

  • 박미라 (한국 표준과학 연구원 레이저 계측 그룹, 연세대학교 화학과 초고속 광물성 제어 연구단) ;
  • 김형례 (바이크로닉스) ;
  • 김동호 (연세대학교 화학과 초고속 광물성 제어 연구단) ;
  • 정세채 (한국 표준과학 연구원 레이저 계측 그룹)
  • Published : 2004.02.12