Proceedings of the Optical Society of Korea Conference (한국광학회:학술대회논문집)
- 2004.02a
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- Pages.130-131
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- 2004
Fabrication of Diffractive Optical Elements with Grayscale Photolithography
그레이스케일 포토리소그래피를 이용한 회절광학소자의 제작
- Kim, Wan-Jin ;
- Lee, Myeong-Bok ;
- Son, Jin-Seung ;
- Jo, Eun-Hyeong ;
- Yun, Chan-Yeong ;
- Park, No-Cheol ;
- Park, Yeong-Pil
- 김완진 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
- 이명복 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
- 손진승 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
- 조은형 (삼성종합기술원 Storage Lab) ;
- 윤찬영 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
- 박노철 (연세대학교 정보저장기기 연구센터) ;
- 박영필 (연세대학교 정보저장기기 연구센터)
- Published : 2004.02.12
Abstract
Keywords