Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Microstructural characterization of TiN thin films prepared by DC magnetron sputtering

DC Magnetron Sputtering 법으로 성장된 TiN 박막의 미세구조 특성평가

  • 김경원 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 이태권 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 김호정 (하이닉스반도체 메모리연구소) ;
  • 이순영 (하이닉스반도체 메모리연구소)
  • Published : 2004.05.14
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Abstract

Keywords