Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effects of Large Sized Particles on Removal Rate and Surface Defect during Cu CMP

Cu CMP에서 Large sized particles이 연마속도와 표면결함에 미치는 영향

  • 송재훈 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 엄대홍 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 홍의관 (한양대학교 금속재료공학과) ;
  • 박진구 (한양대학교 금속재료공학과)
  • Published : 2004.05.14
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Abstract

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