Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Extremely low-temperature crystallization of amorphous silicon film using non-laser crystallization process

Laser를 이용하지 않는 비정질 실리콘 박막의 극저온결정화

  • 신종배 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 김병수 (한양대학교 세라믹공학과) ;
  • 최덕균 (한양대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2004.05.14
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