대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- Pages.95-97
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- 2004
SPM(Scanning Probe Microscopy)을 이용한 국소영역에서 실리콘 나노크리스탈의 전기적 특성 분석
Electrical property analysis of Si nanocrystal by SPM(Scanning Probe Microscopy) on insulating substrate
- Choi, Min-Ki (Dep. of Electrical eng., Myongji University) ;
- Kim, Jung-Min (Dep. of Electrical eng., Myongji University) ;
- Kang, Chi-Jung (Dep. of Physics, Myongji University) ;
- Khang, Yoon-Ho (Devices Lab., Samsung Advanced Institute of Technology) ;
- Kim, Young-Sang (Dep. of Electrical Eng., Myongji University)
- 발행 : 2004.11.05
초록
본 연구에서는 Scanning Capacitance Microscopy (SCM)와 Electrostatic Force Microscopy (EFM)을 이용하여 국소영역에서 실리콘나노 크리스탈의 전기적 특성을 분석하였다. 실리콘 나노 크리스탈은 에어로솔 방식으로 P-type 실리콘웨이퍼 위에
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