대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 2004년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
- /
- Pages.98-100
- /
- 2004
유도결합 플라즈마를 이용한 PST 박막의 식각 특성 및 이온 에너지 분포
Etching characteristics of PST thin film and ion energy distribution using inductively coupled plasma
- Kim, Gwan-Ha (ChungAng University) ;
-
Kim, Kyoung-Tae
(ChungAng University) ;
-
Kim, Chang-Il
(ChungAng University)
- 발행 : 2004.11.05
초록
In this study, PST thin films were etched with inductively coupled
키워드