압전액츄에이터 연동파형 고전압증폭 구동장치 설계

  • 조정대 (한국기계연구원, 첨단산업기술연구부) ;
  • 함영복 (한국기계연구원, 첨단산업기술연구) ;
  • 윤소남 (한국기계연구원, 첨단산업기술연구) ;
  • 감광영 (한국기계연구원, 첨단산업기술연구부)
  • 발행 : 2004.05.01

초록

하나 또는 다수개의 압전액츄에이터(piezoelectric actuator)로 구성된 시스템에서 구동 효율을 높이는데 직접적인 영향을 미치는 고정밀과 빠른 응답 특성을 구현(implementation)하기 위하여, 입력전압에 대하여 출력전압이 선형적으로 추종하고 주파수 가변(variable)이 독립적이며 순차적으로 제어가 가능한 위상가변(phase shifting)형 압전액츄에이터 구동장치의 설계가 필요하다. 구동신호론 증폭하고 가변하는 고전압 증폭 구동장치는 압전액츄에이터 구동에 직접 영향을 주게 되므로, 이의 특성인 고주파에서의 위상지연 보상, 높은 회전비(slew rate)로 고전압에서 정현파의 찌그럼짐을 방지, 전압이득의 가변 및 안정화, 입력 및 출력 임피던스의 개선과 주파스 대역폭(band width)의 확장 등은 매우 중요하다.(중략)

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