Proceedings of the Korean Society of Machine Tool Engineers Conference (한국공작기계학회:학술대회논문집)
- 2004.04a
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- Pages.487-489
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- 2004
Nano Plasma Electrode by FIB and its application
FIB로 제작된 나노 플라즈마의 응용
Abstract
마이크로 사이즈 공음극 플라즈마 전극에 대한 제작 및 방전 실험을 진행하였다. 방전 전극은 200~500 um의 hole 형상을 제작하였으며 70~850 torr He 분위기에서 방전 실험하였다. 실험 샘플은 막힌 공음극 형상과, 관통된 공음극 두가지 형상을 실험하였다. 마이크로 공음극 플라즈마의 공음극 크기에 따른 결과에서 사이즈가 작을수록 총 전류 값은 낮아지나, 전류 밀도는 증가하였다. 막힌 공음극에서는 양저항 특성을, 관통된 공음극에서는 부저항 결과를 얻었다.