Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

저온 poly-Si TFT의 제조 시 Ion Shower Doping 공정 연구

  • 김동민 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 박종현 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2003.02.14
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