Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Source/drain 형성 시 초 저에너지로 B 이온 주입된 실리콘의 activation-deactivation 현상

  • 김은석 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 류승욱 (홍익대학교 신소재공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 신소재공학과)
  • Published : 2003.02.14
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