Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)
- 2003.02a
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- Pages.119-119
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- 2003
Plasma Doping법과 RTP/ELA법을 사용한 Ultra-thin Strained-SOI의 도핑 활성화와 이 방법을 적용한 MOSFET 제작
- Maeng, Seong-Ryeol ;
- Gang, Tae-Ung ;
- Jo, Won-Ju ;
- Im, Gi-Ju ;
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Jang, Mun-Gyu
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Yang, Jong-Heon
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- Lee, Seong-Jae ;
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Park, Gyeong-Wan
- 맹성렬 (한국전자통신연구원) ;
- 강태웅 (한국전자통신연구원) ;
- 조원주 (한국전자통신연구원) ;
- 임기주 (한국전자통신연구원) ;
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장문규
(한국전자통신연구원) ;
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양종헌
(한국전자통신연구원) ;
- 이성재 (한국전자통신연구원) ;
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박경완
(서울시립대학교 나노전자과)
- Published : 2003.02.14
Abstract
Keywords