Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Characteristics of C-V for Double gate MOSFET

Double gate MOSFET의 C-V 특성

  • 나영일 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 김근호 (논산 백제병원 방사선과) ;
  • 고석웅 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 정학기 (군산대학교 전자정보공학부) ;
  • 이재형 (군산대학교 전자정보공학부)
  • Published : 2003.10.01
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Abstract

In this paper, we have investigated Characteristics of C-V for Double gate MOSFET with main gate and side gate. DG MOSFET has the main gate length of 50nm and the side gate length of 70nm. We have investigated characteristics of C-V and main gate voltage is changed from -5V to ＋5V. Also we have investigated characteristics of C-V for DG MOSFET when the side gate length is changed from 40nm to 90nm. As the side gate length is reduced, the transconductance is increased and the capacitance is reduced. When the side gate voltage is 3V, we know that C-V curves are bending at near the main gate voltage of 1.8V. We have simulated using ISE-TCAD tool for characteristics analysis of device.

본 논문에서는 main gate와 side gate를 갖는 double gate MOSFET의 C-V 특성을 조사하였다. Main gate 전압을 -5V에서 ＋5V까지 변화시킴으로써 main gate 길이가 50nm이고, side gate 길이가 70nm인 MOSFET의 C-V 특성을 조사하였다. 또한, Main gate 길이가 50nm인 double gate MOSFET의 side gate의 길이를 40nm에서 90nm로 변화시키면서 C-V 곡선을 비교ㆍ분석하였다. Side gate 길이가 줄어들수록 전달컨덕턴스는 증가하고, 커패시턴스는 감소하는 경향을 나타내었다. 게이트 전압이 1.8V일 때, side gate의 영향으로 C-V곡선에 굴곡이 나타났으며, 소자의 특성 분석을 위해 ISE-TCAD를 사용하여 시뮬레이션 하였다.

Keywords