Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

2002.11a
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Pages.66-66
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2002

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)

권호 표지

Mechanical and electrical properties of Cu(Mg) film for ULSI interconnect

고집적 반도체 배선용 Cu(Mg) 박막의 기계적, 전기적 특성 평가

안재수 (서울대학교) ;
이제훈 (서울대학교) ;
주영창 (서울대학교)

Published : 2002.11.01

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Abstract

Keywords