Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Abrasive Shape and Surfactant Concentration Effects on CMP Using Ceria Slurry

세리아 슬러리를 사용한 화학적 기계적 연마에서 연마재의 형태와 계면활성제의 농도가 미치는 영향

  • 강현구 (한양대학교 Nano SOI 공정연구실) ;
  • ;
  • 백운규 (한양대학교 세라믹 공학과) ;
  • 박재근 (한양대학교 세라믹 공학과)
  • Published : 2002.11.01
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Abstract

Keywords