HBM ESD Tester for On-wafer Test using Flyback Method

Flyback방식을 이용한 on-wafer용 HBM ESD 테스터 구현

We made ESD tester to measure ESD threshold voltage of semiconductor devices. The HBM ESD test is the most popular method to measure the ESD threshold voltage of MMIC. We use flyback method which is one of the DC-DC converter to get high ESD voltage. With flyback method, we can isolate the low voltage part from the high voltage part of HBM ESD tester. We use an air gap of the relay which is used for switch to satisfy the rise time of ESD standard(MIL-STll-883D). As a result, with the flyback method and the air gap of relay, we can make ESD tester whose parasitic components are minimized.

반도체 소자의 정전기 내성을 알아보기 위해 필요한 HBM ESD 테스터를 제작하였다. HBM ESD 테스트는 MMIC의 정전기 내성을 측정하는데 가장 많이 사용하는 방식이다. 고전압의 ESD 신호를 얻기 위하여 DC-DC converter의 일종인 flyback 방식을 도입하였다. Flyback 방식으로 제작된 HBM ESD 테스터는 고전압 부분과 저전압 부분을 서로 격리시킬 수 있는 장점이 있다. 스위치로 사용된 relay의 air gap을 이용하여 정전기의 rise time이 국제 규격에 맞도록 설계하였다. 결과적으로, flyback 방식과 relay의 air gap을 이용하여 기생 성분이 최소화된 ESD 테스터를 제작하였다.