한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집 (Proceedings of the International Microelectronics And Packaging Society Conference)
- 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 춘계 기술심포지움 논문집
- /
- Pages.255-258
- /
- 2002
고밀도 유도결합 $C1_2CF_4Ar$ 플라즈마를 이용한 $CeO_2$ 박막 식각후 표면반응에 관한 연구
An Investigation on the Surface Reactions after the Etching of $CeO_2$ Thin Films using High Denstity Inductively Coupled $C1_2CF_4Ar$ Ar Plasmas
초록
In this study,
키워드