플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구

The deposition and a study on the mechanical properties of the multilayer TiN/(Ti,Al)N coatings by plasma enhanced chemical vapor deposition

  • 발행 : 2001.06.01