한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)
권호 표지

플라즈마 화학증착법에 의한 TiN/(Ti,Al)N 다층박막의 제조 및 기계적 특성에 관한 연구

The deposition and a study on the mechanical properties of the multilayer TiN/(Ti,Al)N coatings by plasma enhanced chemical vapor deposition

  • 발행 : 2001.06.01
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