한국표면공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference)

한국표면공학회 (The Korean Institute of Surface Engineering)

권호 표지

산소분압에 따른 DC sputter 코팅된 ITO 박막의 특성에 관한 연구

The characterization of DC sputtered ITO thin film according to oxygen partial pressures

송영식 (한국생산기술연구원) ;
김성완 (한국생산기술연구원) ;
김용한 (성문전자(주) 부설기술연구소) ;
김종렬 (한양대 금속재료과)

발행 : 2001.06.01

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