Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 2001.05a
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- Pages.113-113
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- 2001
Study on low roughness SiC PEC etching process using $H_2O_2$
$H_2O_2$ 를 이용한 고평활도 SiC 광전화학 식각에 관한 연구
Abstract
Keywords