Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Deposition of BLT thin films for MFM-type Ferroelectric Random Access Memory

MFM구조의 FeRAM용 BLT막의 증착에 대한 연구

  • 최두현 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김윤해 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 최국현 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 전인상 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 김진용 (서울대학교 반도체공동연구소) ;
  • 김형준 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 2001.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords