Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Study on the dry etching process of SiC film using RIE

RIE를 이용한 SiC 박막의 건식 식각공정 연구

  • 강수창 (명지대학교 세라믹공학과) ;
  • 신무환 (명지대학교 세라믹공학과)
  • Published : 2001.05.01
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Abstract

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