Proceedings of the IEEK Conference (대한전자공학회:학술대회논문집)
- 2000.06b
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- Pages.64-67
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- 2000
Tungsten Silicide ($WSi_2$ ) for Alternate Gate Metal in Metal-Oxide-Semiconductor (MOS) Devices
금속-산화막-반도체 소자에서 대체 게이트 금속인 텅스텐 실리사이드의 특성 분석
Abstract
Tungsten silicide(WSi
Keywords