Fabrication of YB$_{a2}Cu_3O_{7-{\delta}}/SrTiO_3/YB_{a2}Cu_3O_{7-{\delta}}$ multilayer structure for ground plane of single flux quantum digital circuit
단자속 양자 디지털 회로의 접지면을 위한 YB$_{a2}Cu_3O_{7-{\delta}}/SrTiO_3/YB_{a2}Cu_3O_{\7-{\delta}}$ 다층 구조의 제작
- Jang, Ju-Eok (superconductivity Research Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, Young-Hwan (superconductivity Research Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kim, Young-Hwan (superconductivity Research Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Lee, Jong-Min (superconductivity Research Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Park, Jong-Hyeog (superconductivity Research Laboratory, Korea Institute of Science and Technology) ;
- Kang, Joon-Hee (University of Inchon)
- 장주억 (한국과학기술원, 초전도 연구팀) ;
- 김영환 (한국과학기술원, 초전도 연구팀) ;
- 김창훈 (한국과학기술원, 초전도 연구팀) ;
- 이종민 (한국과학기술원, 초전도 연구팀) ;
- 박종혁 (한국과학기술원, 초전도 연구팀) ;
- 강준희 (인천대학교)
- Published : 1999.08.18
Abstract
We have fabricated high-T
접지면을 가지는 정사형 조셉슨 결합을 제작하기 위한 기본 단계로 YBCO/STO/YBCO 구조의 다층 박막을 제작하였다. 상하부 YBCO 박막은 그 사이에 존재하는 STO 절연층에 형성된 홀을 통해 서로 연결되어 있으며 이것의 저항-온도 특성을 측정한 결과 임계 온도가86 K로 나타났다. 이 결과는 시편을 매우 장시간동안 열처리한 후 얻은 결과로서 YBCO/STO/YBCO 다층 구조의 박막 제작시 하부 YBCO 박막의 특성이 많이 저하되고 이를 복원하기 위해서는 열처리 공정이 매우 중요함을 알 수 있었다. 현재 우수한 특성을 가지는 YBCO/STO/YBCO 다층 구조의 제작 공정을 최적화하기 위한 연구를 계속 수행 중에 있다.
Keywords