Development of an Auto Socket Management Technique for Semicon Production Syste,

반도체 생산 시스템의 자동 Socket 관리 기술 개발

산업응용 시스템에 있어서의 생산성이란 시스템의 성능 및 효율성에 관한 척도가 된다. 따라서, 시스템의 개발 전과정에서 이를 향상시키려는 많은 노력이 이루어진다. 특히 반도체의 제조공정에서는 이를 위한 노력이 민감하게 발전되어 왔다. 이들 중 IC Test Handler의 Socket관리는 제품(Device)의 생산량과 함께 시스템의 효율성에 직접적인 영향을 주는 부분으로 많은 연구 및 개발이 이루어지고 있다. 본 논문에서는 이러한 생산성 및 효율성을 높이기 위한 자동 Socket 관리 시스템을 개발하여 사용자(Operator)에게 보다 향상된 시스템 환경을 제공하고자 한다. 이를 위해 PC 환경의 GUI 시스템을 도입하였으며, 실제적인 제어부분은 Real Time 운영체제를 탑재한 VME 시스템이 담당하였다. 또한, 신뢰성을 위하여 날짜별 데이터를 하드디스크에 저장하여 Socket 데이터를 사용자가 확인할 수 있도록 하였다.