단면 HRTEM 관찰을 통한 (100)Si 위에서의 고배향성 다이아몬드 박막 성장 기구 규명

  • 강대환 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 하승철 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 김기범 (서울대학교 공과대학 금속공학과) ;
  • 민석홍 (서울대학교 공과대학 신소재공동연구소) ;
  • 이확주 (한국표준과학연구원)
  • Published : 1997.05.01