한국전자현미경학회:학술대회논문집

Korean Society of Microscopy (한국현미경학회)
권호 표지

비경질 Si, Si/SiGe 및 SiGe/Si 박막의 고상결정화시 결정립의 핵생성위치에 따른 결정화후의 미세구조

  • 류명관 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 황석민 (서울대학교 재료공학부) ;
  • 민석홍 (서울대학교 신소재공동연구소) ;
  • 김기범 (서울대학교 재료공학부)
  • Published : 1997.05.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords