(0001) 사파이어 기판위에 성장된 GaN 박막내 나노파이프의 에치핏 형성

  • 홍순구 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 김봉진 (삼성종합기술원 분석연구실) ;
  • 박형수 (삼성종합기술원 광전자연구실)
  • Published : 1997.05.01