대한전기학회:학술대회논문집 (Proceedings of the KIEE Conference)
- 대한전기학회 1997년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- Pages.273-275
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- 1997
진공아크방전으로 제작된 다이아몬드상 탄소 박막의 질소 도우핑에 따른 전계 방출 특성
Field emission property of the nitrogen doped diamond-like carbon film prepared by filtered cathodic vacuum arc technique
- 최만섭 (명지대학교 공과대학 전기공학과) ;
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김용상
(명지대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 이해승 (한양대학교 공과대학 전기공학과) ;
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박진석
(한양대학교 공과대학 전기공학과) ;
- 전동렬 (명지대학교 이과대학 물리학과) ;
- 김종국 (삼성전자(주) 생산기술센터)
- Choi, M.S. (Dept. of Electrical Eng., Myongji University) ;
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Kim, Y.S.
(Dept. of Electrical Eng., Myongji University) ;
- Lee, H.S. (Dept. of Electrical Eng., Hanyang University) ;
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Park, J.S.
(Dept. of Electrical Eng., Hanyang University) ;
- Jeon, D. (Dept. of Physics, Myongji University) ;
- Kim, J.K. (Samsung Electronics Co., Production Engineering Center)
- 발행 : 1997.11.29
초록
We fabricated the conventional silicon tips coated with a diamond-like carbon (DLC) film. The DLC films are prepared by the filtered cathodic vacuum arc (FCVA) technique. With increasing nitrogen content in DLC film, the work function(
키워드