Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

A study on the low temperature growth of Si$O_{x}$ films for a-Si TFT applications

a-Si TFT용, Si$O_{x}$의 저온성장에 관한 연구

  • 정일채 (선문대학교 재료공학과) ;
  • 백청아 (선문대학교 재료공학과) ;
  • 이주현 (선문대학교 재료공학과) ;
  • 이강렬 (명지대학교 무기재료공학과) ;
  • 박성 (명지대학교 무기재료공학과)
  • Published : 1997.10.01
Download PDF
⟨ Previous Next ⟩

Abstract

Keywords