Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Solid Phase Crystallization Behaviors and Microstructures of Amorphous Silicon Films Dependent on Deposition Conditions

증착 조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상결정화 거동과 미세구조의 변화

  • 황석민 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 류명관 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 김기범 (서울대학교 금속공학과) ;
  • 민석홍 (서울대학교 신소재공동연구소)
  • Published : 1997.10.01
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Abstract

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