a-Si/$SiO_2$ 계면의 증착조건에 따른 비정질 실리콘 박막의 고상 결정화

  • 정세진 (홍익대학교 금속·재료 공학과) ;
  • 황의훈 (홍익대학교 금속·재료 공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료 공학과)
  • 발행 : 1997.02.01