한국진공학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference)

한국진공학회 (The Korean Vacuum Society)
권호 표지

Sputter로 증착된 케이트 SiO2 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 전기적 특성에 관한 연구

A Study on the electrical Properties of Poly-Si Thin Film Transistor using sputter-deposited gate $SiO_2$ films

  • 박광현 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 남승의 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 김형준 (홍익대학교 금속·재료공학)
  • 발행 : 1996.02.01
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