Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Atomistic Mechanism of Secondary Defect Formation in MeV Ion Implanted Silicon

MeV 이온주입된 단결정 실리콘내의 이차결함 형성기구

  • 조남훈 (홍익대학교 금속·재료공학과) ;
  • 노재상 (홍익대학교 금속·재료공학과)
  • Published : 1996.02.01
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Abstract

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