Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

Effects of Co/Ti thickness ratio on the formation of epitaxial $CoSi_2$ thin films

Co/Ti 두께비가 $CoSi_2$ 에피박막 형성에 미치는 영향

  • 김종렬 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 배규식 (수원대학교 전자재료공학과) ;
  • 박윤백 (현대전자(주) 반도체 사업부) ;
  • 백태선 (현대전자(주) 반도체 사업부) ;
  • 조윤성 (현대전자(주) 반도체 사업부)
  • Published : 1995.11.01
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Abstract

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