A Quantitative Analysis of Interfacial Layer by using AES Depth Profiling

AES Depth Profiling을 이용한 계면 층의 정량 분석

  • 서주원 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김종석 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1994.11.01