한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)

권호 표지

구리 확산 방지막으로서 TiW/$WN_{x}$ 이중층의 열적안정성에 관한 연구

The thermal stability of TiW/$WN_{x}$ bilayer as diffusion barrier beween Cu and Si

김동준 (한양대학교) ;
박종완 (한양대학교) ;
권철순 (한국과학기술연구원) ;
김용태 (한국과학기술연구원) ;
민석기 (한국과학기술연구원)

발행 : 1994.11.01

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