한국재료학회:학술대회논문집 (Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference)

한국재료학회 (Materials Research Society of Korea)
권호 표지

Reactive Sputtering 에 의해 형성된 Molybdinum Nitride의 증착 조건이 구리 확산 방지막 특성에 미치는 영향

Effect of Deposition Parameters of Reactive Sputttered Molybdinum Nitride on Coper Diffusion Barrier

  • 발행 : 1994.11.01
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