TDMAT(Tetrakis Dimethyl Amino Titanium) 및 TDMAT/$NH_3$로 형성한 CVD Titanium Nitride박막의 특성 비교

• 김장수 (한양대학교 재료공학과) ;
• 백수현 (한양대학교 재료공학과) ;
• 원석준 (한양대학교 재료공학과) ;
• 장영학 (한양대학교 전자공학과) ;
• 오재응 (한양대학교 전자공학과) ;
• 카즈유키후지하라 (삼성전자 메모리 소자 사업부) ;
• 최진석 (삼성전자 메모리 소자 사업부) ;
• 이현덕 (삼성전자 메모리 소자 사업부) ;
• 이종길 (삼성전자 메모리 소자 사업부)

• Published : 1994.11.01

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