Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)

Materials Research Society of Korea (한국재료학회)
권호 표지

The Comparison of Characteristics on TiN films depostied by ECR-PECVD and RF-PECVD

ECR-PECVD와 RF-PECVD법에 의해 증착된 TiN박막의 특성 비교

  • 전병혁 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 김종석 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이응직 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 백종태 (한국전자통신연구소 반도체연구단) ;
  • 강상원 (한국과학기술원 전자재료공학과) ;
  • 이원종 (한국과학기술원 전자재료공학과)
  • Published : 1994.11.01
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Abstract

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